為納米制造鑄一把“精準標尺”

御微半導體參與完成的項目“量子化光晶格常數的納米計量關鍵技術及集成電路應用”榮獲國家科學技術進步獎一等獎

7月8日，2025年度國家科學技術獎勵大會在北京人民大會堂隆重舉行。御微半導體作為第二單位參與完成的項目“量子化光晶格常數的納米計量關鍵技術及集成電路應用”榮獲國家科學技術進步獎一等獎。該項目由同濟大學牽頭，御微半導體與中國計量科學研究院、桂林電子科技大學、上海市計量測試技術研究院等單位合作完成。歷經二十余年攻關，項目團隊制造出一系列納米級長度和角度國家一級標準物質，為集成電路等納米制造領域提供了用于儀器校準與標定的“精準標尺”。

計量是測量的科學及應用。只有測得出，才能造得出；只有測得準，才能造得精。納米計量是實現納米制造準確性的前提和保障，“量子化實物標準的納米計量關鍵技術"是通過光晶格勢阱操控冷原子形成皮米精度的長度和角度標準，并通過集成電路制造技術將上述標準固化為產業用標準片。一直以來，御微深耕量檢測設備領域，對高精度的技術有著長期需求，該技術的推廣和應用為納米制造及其他領域提供了精確測量的基礎技術，不僅可以幫助標準片的設計，還可以對標準片進行測試和使用，縮短了納米計量傳遞鏈，提升了扁平化水平，更適用于解決產業應用問題。

未來，御微將載著這份國家榮譽，持續深耕量檢測設備領域，秉持務實、重諾、突破、成事的價值觀，不斷朝著”致力成為半導體設備行業第一梯隊的技術提供者“的目標努力前進!